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設(shè)置 100 級(jí) (ISO 5) 潔凈室所需的實(shí)驗(yàn)室用品和設(shè)備

什么是 100 級(jí)潔凈室?

ISO 5 級(jí)潔凈室,也稱為 100 級(jí)潔凈室,每立方英尺(100,000 個(gè)粒子/每立方米)空氣中僅允許 100 個(gè)尺寸為 0.5 μm 或更大的粒子。這種分類處于更關(guān)鍵的一端,需要高水平的過濾。即使進(jìn)入 100 級(jí)也需要通過其他 ISO 控制環(huán)境。

可能需要 100 級(jí)潔凈室的制造行業(yè)包括航空航天、光學(xué)、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、晶圓板、記錄介質(zhì)和植入式醫(yī)療設(shè)備。對(duì)于精心設(shè)計(jì)的 ISO 5 潔凈室的成功啟動(dòng),預(yù)先規(guī)劃、程序?qū)嵤┖屠斫庀到y(tǒng)工程是至關(guān)重要的組成部分。

ISO 5 潔凈室分類

ISO 教室標(biāo)識(shí)(ISO 標(biāo)準(zhǔn) 146144-1:2015)的命名基于每 m 3空氣中允許的 ≥ 0.1 μm 或更大的顆粒數(shù)的十進(jìn)制對(duì)數(shù),而聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E 的編號(hào)等級(jí)表示允許的顆粒 ≥ 0.5 mm/ft 3空氣。

在理想情況下,要達(dá)到 ISO 5 空氣潔凈度,您必須通過 ISO 8(前室)進(jìn)入潔凈室,然后通過 ISO 7,然后通過 ISO 6 才能進(jìn)入。雖然這并不總是可行的,但法規(guī)要求兩個(gè)相連的房間在清潔度等級(jí)上的差異不應(yīng)超過兩個(gè)數(shù)量級(jí)。

100 級(jí)潔凈室和清潔設(shè)施使用層流或單向氣流來去除空氣中的雜質(zhì)。空氣以 0.3 - 0.5 m/s 的速度沿一個(gè)方向掃過房間,然后穿過地板離開。超低滲透空氣 ( ULPA ) 過濾效率為 99.9995%,可去除高達(dá) 0.12 微米的空氣顆粒。

100 級(jí)潔凈室的空氣顆粒物潔凈度

美光

0.1

0.2

0.3

0.5

1

5

顆粒/m 3

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

證明持續(xù)合規(guī)的測(cè)試時(shí)間表

測(cè)試參數(shù)

班級(jí)

最大時(shí)間間隔

測(cè)試程序

粒子計(jì)數(shù)測(cè)試

<= ISO 5

6個(gè)月

ISO 14644-1 附錄 A

氣壓差

所有課程

12個(gè)月

ISO 14644-1 附錄 B5

空氣流動(dòng)

所有課程

12個(gè)月

ISO 14644-1 附錄 B4

聯(lián)邦和 ISO 氣流速度標(biāo)準(zhǔn)

等級(jí):ISO 146144-1(聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E)

平均氣流速度 (m/s (ft/min))

每小時(shí)換氣次數(shù)

天花板覆蓋

ISO 5(100 級(jí))

0.203 – 0.406 (40 – 80)

240 – 480

35 – 70%

服裝

建議 100 級(jí) (ISO5) 潔凈室使用以下服裝。

  • 發(fā)套

  • 兜帽

  • 面罩 (2X)

  • 連體衣

  • 靴子

  • 防護(hù)手套

  • 您可能還需要在 100 級(jí)潔凈室中儲(chǔ)存蓬松、胡須套、護(hù)目鏡、手套襯里、短靴和鞋套。

為了最大限度地減少 ISO 5 潔凈室中的微粒污染,只允許使用不脫落的潔凈室 PPE。它們通常由 Gortex、Tyvek、Dacron 或其他無紡材料(如聚丙烯或其他微孔材料)制成。

連體衣

  • 滌綸潔凈室工作服

  • 聚丙烯潔凈室工作服

  • 連帽衫和靴子

  • 微孔連體服

  • ISO 6 級(jí)潔凈室高性能連帽衫和拉鏈

    • 用于關(guān)鍵和低顆粒清潔環(huán)境的乳膠/無薄膜涂層工作服

    • 適用于接觸血源性病原體、一些危險(xiǎn)液體,以及液體飛濺的問題

    • 表面電阻≤1011的靜電消散聚乙烯/丙烯織物

    • 附連帽,拉鏈前入口,彈性手腕,彈性腳踝,彈性下背部和防風(fēng)蓋拉鏈蓋,鋸齒縫結(jié)構(gòu)

    • 雖然這件工作服真的很酷,但它說 ISO 6 還不夠干凈?

蓬松帽

  • 低掉毛聚丙烯蓬松帽

 胡須蓋

  • 無乳膠胡須套

面具

  • 3層一次性無紡布纖維口罩

手套

ISO 5 或 100 級(jí)手套符合 ISO 和 FED STD 209E 標(biāo)準(zhǔn)。這些袋裝手套經(jīng)過處理,不含微生物且不含粉末。它們?cè)谑褂靡淮魏蟊粊G棄。

  • ISO 5 丁腈手套

  • 100 級(jí)丁腈潔凈室手套

鞋套

  • 鞋套由 100% 紡粘聚丙烯制成,防滑

更衣區(qū)

設(shè)置更衣區(qū)以便于取用潔凈室服裝。

  • 在更衣室的入口處需要粘性墊子,以便在進(jìn)入之前去除顆粒物。

  • 在踩到俗氣的墊子后和進(jìn)入更衣室之前,可以穿上鞋套。

  • 設(shè)置一個(gè)服裝供應(yīng)區(qū),一側(cè)有連衣裙和長(zhǎng)袍,還有一個(gè)單獨(dú)的架子用于存放頭巾、口罩和其他用品。衣架由符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的不銹鋼制成,專為清潔和穩(wěn)定而設(shè)計(jì)。一些儲(chǔ)物柜配備了 HEPA 過濾器,以清除不需要的顆粒。

  • 使用易于清潔的更衣臺(tái)穿上工作服。每次使用后準(zhǔn)備好消毒濕巾來清潔工作臺(tái)。

  • 用無塵室膠帶標(biāo)定干凈/骯臟的地板。5S 系統(tǒng)可以幫助提高潔凈室的效率。

  • 只允許在指定的清潔區(qū)域(經(jīng)常用新鮮的無紡布拖把清潔)清洗過的短靴。

在潔凈室 - 辦公用品

筆、記事本和紙等日常用品不適合潔凈室設(shè)置。

  • 潔凈室筆記本

  • 無塵紙和便簽

  • 無塵筆(這是說顯微鏡零件和配件??)

在潔凈室 - 工具和設(shè)備

  • 用于 ISO 5 潔凈室的Class 100 干燥

  • 鑷子、鑷子、鉗子、刷子和止血鉗等工具

  • 潔凈室拭子

  • 潔凈室真空系統(tǒng)

  • 潔凈室剃須刀片

  • 墊料架和實(shí)用推車生銹和發(fā)霉

  • 儀表和監(jiān)視器

  • 架子、擱板、盒子和

  • 保溫和運(yùn)輸

  • 垃圾桶和襯墊

潔凈室化學(xué)品

  • 潔凈級(jí)溶劑

  • 化學(xué)品儲(chǔ)存柜

打掃

  • 封邊聚酯抹布非常適合 ISO 5 或 100 級(jí)潔凈室,因?yàn)檫吘壊粫?huì)脫落。遠(yuǎn)離這種分類的聚纖維素或無紡布擦拭巾。

    • 考文垂?jié)崈羰揖埘窠硖峁┳頶ao級(jí)別的保護(hù),因?yàn)樗鼈円言?10 級(jí)(ISO 4 級(jí))潔凈室中清洗以去除顆粒。

    • 聚縞瑪瑙 靜電擦拭布是 100 – 1000 級(jí) (ISO 5-6) 黑色激光密封邊緣聚酯擦拭布,在 107-109 范圍內(nèi)具有靜電耗散性,符合 S20.20 標(biāo)準(zhǔn)。

    • 高純度聚酯酒精濕巾用經(jīng)過 0.05 μm 介質(zhì)過濾的半導(dǎo)體級(jí)異丙醇 (IPA) 飽和。它們經(jīng)過 10 級(jí)(M3、ISO 4)潔凈室加工和包裝,是清潔半導(dǎo)體晶圓廠和其他關(guān)鍵應(yīng)用的理想選擇。

  • 潔凈室 chamoix用于去除焊劑

潔凈室測(cè)試

  • 泡沫或植絨采樣棉簽

100 級(jí) (ISO 5) 潔凈室的注意事項(xiàng)

保持潔凈室的清潔度是這項(xiàng)工作最重要的方面。ISO 5 分類具有很高的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn),因?yàn)榭蛻舭踩Q于它。在將任何物品引入 Class 100 環(huán)境之前,請(qǐng)檢查并標(biāo)記為兼容。

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